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项目 Item |
内容 Content |
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| 标准代码 Standard Code |
GB/T 40279-2021 |
| 标准类别 Standard Class |
GB |
| 标准中文名称 Standard English Title |
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 |
| 标准英文名称 Standard Chinese Title |
Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method |
| 订购 Order |
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