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项目 Item |
内容 Content |
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| 标准代码 Standard Code |
GB/T 24575-2009 |
| 标准类别 Standard Class |
GB |
| 标准中文名称 Standard English Title |
硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 |
| 标准英文名称 Standard Chinese Title |
Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry |
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