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项目 Item |
内容 Content |
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| 标准代码 Standard Code |
GB/T 30868-2014 |
| 标准类别 Standard Class |
GB |
| 标准中文名称 Standard English Title |
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 |
| 标准英文名称 Standard Chinese Title |
Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching |
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