8414100010    
耐腐蚀真空泵
海关代码:3                 CIQ代码:无 　

  8414100040    
专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵
海关代码:3                 CIQ代码:无 　

  8414100030    
能在含UF6气氛中使用的真空泵
海关代码:3                 CIQ代码:无 　

  8414100090    
其他真空泵
海关代码:无                 CIQ代码:无 　

  8414100050    
能在含UF6气氛中使用的真空泵
海关代码:3                 CIQ代码:无 　

  8414100060    
专门或主要用于半导体晶圆或平板显示屏制造的真空泵
海关代码:无                 CIQ代码:无 　

  8414100020    
真空泵
海关代码:3                 CIQ代码:无